型号：Micronano D5A
功能：包含扫描隧道显微镜、原子力显微镜、摩擦力显微镜、磁力显微镜、膜厚台阶测量等功能。SPM平面分辨率为0.1nm，Z向0.01nm。AFM平面分辨率0.2nm，Z向0.1nm。样品直径≤80mm，厚度≤30mm.

位置：鄠邑校区机械材料楼306

负责人：雷书宾